中央精机CHUO SEIKI ALD-7013-G1M-R

移動方向 XY軸2方向
移動量 ±15mm
ステージ面 70mm×70mm
使用モータ PK523HPB相当（5線式ペンタゴン結線、0.75A/相）
分解能 0.002mm
送りねじリード 1mm
移動ガイド HG-VCR（V溝とクロスローラ）
移動精度HV 真直度（水平?垂直）0.002mm
移動精度YP ヨーイング15sec、ピッチング25sec
位置決め精度 0.012mm
繰り返し精度 ±0.0003mm
ロストモーション 0.001mm
運動の平行度 0.02mm
XY直交度 0.006mm
モーメント剛性 ヨー剛性　0.12sec/N?cm、ピッチ剛性　0.16sec/N?cm、ロール剛性　0.16sec/N?cm
耐荷重 39.2N（4kgf）
質量 1.2kg
最高速度 16mm/s（8,000pps時）
主要材質/表面処理 アルミ合金／黒アルマイト梨地
原点センサ ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
リミットセンサ ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3